双面研磨机被用于研磨平行的平面时要比平面研磨机研磨单面的时要多很多。所以工件的上下两个面都是可以被研磨到的，并且双面研磨机在研磨的时候都会做着将研磨盘平行的调节，这时工件上所存在的一些偏差就会自动的被抵消掉了。

　　在研磨时，通常把对角上放置的工件做一下调整的话，就会发现这个研磨的过程会加速的进行着，在平面研磨机上平行着移动时的路程与速度都是一样的。因此会发现，所被研磨下来的量也是一样的。

　　在研磨是研磨工件如硅片是一个弹性体，所以在研磨的时候就会不均匀，并且硅片还有可能发生一些平行度方面的偏差，而这个偏差一般是控制在工件与研磨剂的微小的弹性变形的范围，还有一个因素在于压力的分配的不均，研磨盘也会出现磨耗的不均，需要时常的对研磨盘进行修整，才不至于使工件的平行度慢慢的变差。

　　需要双面研磨机的两面都做到平面，就需要工件与研磨盘做着相对的运动，是一样的，研磨剂的发布也是不均匀的，一般研磨盘上要多一点，此外工件上的重量对研磨的压力也是有影响的，这个因素的影响是很小的。