超精密工艺除了有研磨与抛光的特点外，还应该具有超精加工的特点，其加工运动的平稳性是很差的，往往是会产生一定的抖震的现象。

　　平面研磨机是采用了一种高运动的平稳性的旋摆机构，其加工的运动是极其平稳的，就不会产生任何的都震的，超精加工的磨具是使用固体石油，其磨粒一般都是古董的，近似于磨削，不可能同时发挥切削作用的，其超精加工只是采用抛光液进行抛光而不是直接的泡在液体的介质中。

　　平面研磨机从加工的效果方面来看的话，超精密研磨抛光是有与超级加工近似的高效率，但是其加工的质量要比超精加工高很多的，超精密研磨抛光与超精加工运动均为复杂的合成的运动，所以其超精研磨抛光加工又可以看做是特殊形式高质量的平面超精加工。

　　加工运动相比图

　　超精密研磨抛光机加工与平面超精加工运动相比图。其平面研磨机所采用的运动与传统的加工轨迹有着一些不同之处，传统的加工是具有短行程往复运动与构建的运动相叠加合成的运动，而超精密平面研磨机所采用的轨迹是主要是圆，传统加工的振动是高抛的，是不符合其超精密加工的原则的，这也是超精加工不容易获得理想的加工效果。