在国外，要加工要求准确度和精度都很高的工艺就是采用超精密的平面研磨机，这种专用于超精密的加工工艺其结构也是比较的复杂的，所以这就要求制造平面研磨机的时候其所要求的精度都是极高的，所以制作的成本也要比一般的加工机器高。

　　平面研磨机是按照压力的进给切削的浮动的原理进行研磨加工的，根据其工件的加工的尺寸所要求的均衡的规律来看，其加工的工件的精度是不受研磨机本身的精度所影响的，需选择合适的研磨抛光具以及运动形式，就可以达到提高工件的加工精度以及工件的表面质量，平面研磨机的运动机构是符合创造性加工的原则的。

　　创造性加工的原则在平面研磨机中可以解释为，将需要加工高精密的零件的机器称之为母机，其这台母机在加工转动时误差以及几何误差会以一定的形式传递给工件，所以，在加工的过程中还有可能会产生其他的一些可预见性或不可预见性的误差，比如常见的热变以及震动等因素都是导致工件出现误差的一些因素，所以如果要得到比这台母机的精度更高的精密度的话，就需要采用创造性加工的原则，所谓创造性加工分为两种，一是直接的创造性加工，这种方法主要是提高母机的精度来直接的提高工件的工艺效果；而另一种是间接性的创造性加工，即采用高一级的特级精度和工具，加工出高精度的工件来。

　　方达平面研磨机主要是采用了创造性加工，工件被加工的表面的加工精度、以及工件的表面的粗糙度以及工件的镜面的形成的过程，都不是决定于研磨机的几何精度，工件在加工中不断的反馈到超精密的研磨抛光具中，从而达到自行的调整研磨抛光的情况，已达到进一步的提高工件的加工表面的形状精度，从而达到加工要求，所以这种加工而来的工艺要高于机器精度。