由于对要求超精密研磨的工件而言，其表面一般需要达到的加工要求是加工到镜面效果，所以在对工件的加工的余量问题上，所以需要在进行抛光之前的加工形成的表面粗糙度应该考虑到范围内。
镜面抛光机效率与普通效率比较

　　在使用镜面加工之前，工件所达到的表面粗糙度越好的话，说明表面的光洁度越好，如果是工件的表面光洁度高的话，则可以直接使用预制的“壳膜化”抛光头进行加工，其效率更高，图中可以发现这种使用预制的抛光头进行加工的效率与普通的研抛效率之间的比较。可以发现其其在研磨抛光过程中所达到的镜面效果所发费的时间越短，其效率也越高。可以发现其壳膜化的抛光头能够在更短的时间内达到镜面效果。

　　镜面抛光机中，对于光整加工，其加工的余量的这一问题的考虑还是一个次要的参数，在镜面抛光机进行实际的加工的时候，往往对加工余量的因素没有考虑到，主要考虑到的因素是达到镜面的生产效率，因为在光整加工的时候余量相对于其他的加工来说是很小的，所以在镜面抛光机加工到镜面的金属去除量是多少的问题并不是特别的重要。

镜面抛光机加工中的超精密研抛余量相关问题：http://www.szfangda.com.cn/news/20130211/549.html