光学平面的磨削、研磨与抛光重点在于加工出高精度光学表面面形(N、△N),磨削、研磨与抛光的运动形式很多,但其特点是一样的,光学平面精度的获得不主要依靠机床的精度,而主要依靠母板的精度的传递,应该重点研究与把握三个机理。
    1、 轮廓复制法
    2、 母板的产生、保持与修复
    3、 三块平面的对磨与修正
   平面研磨机精磨要用金属平磨来修磨,金属平模就是母板,低速环抛机的柏油抛光盘是母板,高速环抛机的聚氨酯抛光盘修正好后也成了母板.母板最原始最基本获得的办法是三块平模的对磨与相互修正.研磨(精磨)与抛光过程就是母板的精度的保持、破坏与修复过程.精磨模、聚氨酯抛光模与固体磨料抛光模接近刚体,比较好满足抛光方程要求,所以母板面形保持的时间长,适合高效加工要求。柏油抛光模塑性大,不满足抛光方程要求,柏油模在抛光过程一直处于破坏与修复过程,是古典抛光的特点,效率低,精度高,并且表面粗糙度好。
   1、平面研磨机的高速精磨与抛光
   这是平面的高效的加工的基本方法。例如,在 多头高速平面研磨机(φ300)与 PLM400 平面精磨机(φ500),采用高速高压、固着磨料精磨模、固着磨料抛光模与聚氨酯抛光模等,并采用合理的工艺参数(速度、压力、工具大小、摆幅、供液量、液温等),可以达到定时定光圈定表面质量的目的.精磨模与抛光模是工作母板,而合理的工艺参数使工作母板不容易破坏,因而可以较长时间保持面形,维持正常生产。
2、 高速环型抛光法
   环型抛光机的抛光盘直径为 600、800、1000 及 600mm.工件可以为平面,也可以为棱镜组合光胶镜盘或金属夹具组合棱镜镜盘.由于 HPM 机型采用变频调速,软启动,软停止,运动平稳,低噪音使用更为方便。这类机床的工作原理也是母板复制法,要求底盘具有高的平面性,工作盘有时带修正环或分离器,主轴转速高 15-85rpm，通常用聚酸脂抛光片加抛光悬浮液抛光.显然修好聚
酸酯抛光盘的平面性是一个关键，可以用平面金属模来修正也可以用金属修正环来修正，这种方法是中等精度的高效加工方法.图六 a 为 JP560 环抛示意图，环抛机照片，环型平面研磨机。
3、 低速环型抛光法
   高精度的平面(如平晶或薄型平面)适合用低速环型抛光法。这种方法也是母板复制法,由于工作母板(柏油抛光盘)具有可塑性,是边抛光边修正的,校正板起保持与修正作用,而速度、压力也起保持与修正作用.