平面研磨行业里经常提到几个词，就是工件表面精度相关的专有名词，平面度、平行度及表面粗糙度。他们是什么意思，之间又有什么联系和区别？

平行度指两平面或者两直线平行的程度，指一平面相对于另一平面平行的误差。表示面与面之间的平行精度。

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度属于形位误差的形状误差。是衡量各个点在同一个平面精度的指标。

而表面粗糙度，是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷不平度。它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，表面越光滑。表面粗糙度的大，对机械零件的使用性能有很大的影响。

平面度在平面研磨机工件上应用较多，而双面研磨机主要参考指标除了平面度，还有上下表面平行度。平面抛光机主要用表面粗糙度来衡量表面光滑的程度。平面抛光机进行抛光后的微观光滑程度，有时候也称光洁度或光滑度。

这三个表面精度，采用不同机器设备来达到理想精度。一般镜面抛光机用来提高表面粗糙度，双面研磨机可以将工件加工到良好的平面度及平行度。而平面抛光机则可以达到理想的平面度和表面粗糙度。